Kursinformation

Digitale Lehre
[b]Wird als digitale Lehrveranstaltung angeboten.[/b]

Lehrinhalte
Einführung und Definitionen zur Mikrosystemtechnik, Werkstofftechnische Grundlagen, Grundlagen der Technologien, Funktionselemente der Mikrosystemtechnik, Mikroaktoren, Mikrofluidische Systeme, Mikrosensoren, Integrierte Sensor-Aktor-Systeme, Trends, ökonomische Aspekte.

Literatur
Skript zur Vorlesung Mikrosystemtechnik

Voraussetzungen
BSc

Online-Angebote
[b]moodle[/b]

Stammraum Informationen
S306/052