Digitale Lehre
Homepage des Fachgebietes "Integrierte Mikro-Nano-Systeme (IMNS)":
https://www.etit.tu-darmstadt.de/micronano/imns_topmenu/index~1.de.jsp
Lehrinhalte
Einführung und Definitionen zur Mikrosystemtechnik, Werkstofftechnische Grundlagen, Grundlagen der Technologien, Funktionselemente der Mikrosystemtechnik, Mikroaktoren, Mikrofluidische Systeme, Mikrosensoren, Integrierte Sensor-Aktor-Systeme, Trends, ökonomische Aspekte.
Literatur
Skript zur Vorlesung Mikrosystemtechnik
Voraussetzungen
BSc
Online-Angebote
[b]moodle[/b]
Stammraum Informationen
S306/052
Homepage des Fachgebietes "Integrierte Mikro-Nano-Systeme (IMNS)":
https://www.etit.tu-darmstadt.de/micronano/imns_topmenu/index~1.de.jsp
Lehrinhalte
Einführung und Definitionen zur Mikrosystemtechnik, Werkstofftechnische Grundlagen, Grundlagen der Technologien, Funktionselemente der Mikrosystemtechnik, Mikroaktoren, Mikrofluidische Systeme, Mikrosensoren, Integrierte Sensor-Aktor-Systeme, Trends, ökonomische Aspekte.
Literatur
Skript zur Vorlesung Mikrosystemtechnik
Voraussetzungen
BSc
Online-Angebote
[b]moodle[/b]
Stammraum Informationen
S306/052
- Lehrende: Thomas Burg
- Lehrende: Daniel Thiem
Semester: WiSe 2021/22