Digitale Lehre
Homepage des Fachgebietes "Integrierte Mikro-Nano-Systeme (IMNS)":
https://www.etit.tu-darmstadt.de/micronano/imns_topmenu/index~1.de.jsp

Lehrinhalte
Kenntnisse über die vielfältigen Fertigungsverfahren in der Mikro- und Feinwerktechnik und ihren Einfluss auf die Entwicklung von Geräten und Komponenten.

Literatur
Skript zur Vorlesung: Technologie der Mikro- und Feinwerktechnik I

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Stammraum Informationen
S306/053

Semester: WiSe 2021/22