Lehrinhalte
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[*]Einführung: Halbleiterbauelemente & Mikroelektronik
[*]Halbleiter: Materialien, Physik & Technologie
[*]PN-Übergang
[*]MOS Kapazität
[*]Metall-Halbleiterkontakt (ohmsch, Schottky)
F. Thuselt: Physik der Halbleiterbauelemente. 2. Auflage, Springer 2011,e-ISBN 978-3-642-20032-8
[*] S.M. Sze, K.K. Ng: Physics of Semiconductor devices. 3rd edition, John Wiley & Sons 2007, ISBN: 0-471-14323-5
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Vertiefende Literatur:
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[*]H. Ibach, H. Lüth: Festkörperphysik, 7. Auflage, Springer 2009, e-ISBN 978-3-540-85795-2
[*]Robert F. Pierret: Semiconductor Device Fundamentals, ISBN 0201543931
[*]Roger T. How, Charles G. Sodini: Microelectronics - an Integrated Approach, ISBN 0135885183
[*]Richard C. Jaeger: Microelectronic Circuit Design, ISBN 0071143866
[*]Y. Taur, T.H. Ning, Fundamentals of Modern VLSI Devices, ISBN 0521559596
[*]Thomas Tille, Doris Schmidt-Landsiedel: Mikroelektronik, ISBN 3540204229
[*]Michael Reisch: Halbleiter-Bauelemente, ISBN 3540213848
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Voraussetzungen
Elektrotechnik und Informationstechnik I, Elektrotechnik und Informationstechnik II, Praktikum ETiT, Praktikum Elektronik, Mathematik I, Mathematik II, Physik

Bemerkung Webportal
Die Mikroelektronik ist aus unserem Alltag nicht mehr wegzudenken. Aus welchen Halbleiterbauelementen besteht nun eine integrierte Schaltung?
Und wie funktionieren diese Bauelemente? Was ist ein MOSFET?
Diese Vorlesung macht den Hörer mit den wesentlichen Eigenschaften von Halbleitermaterialien und den daraus hergestellten mikroelektronischen Bauelementen vertraut.
Neben der Funktionsweise der Halbleiterbauelemente werden auch einfache Anwendungen, wie Verstärker, Inverter und MOS-Speicher behandelt. Ein Ausblick auf die zukünftige Entwicklung der Mikroelektronik beschließt die Vorlesung.

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Semester: WiSe 2018/19